干式無(wú)油真空泵
近來(lái)，半導(dǎo)體芯片制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展提出的要求，作為高真空泵不能有油蒸氣存在，因此無(wú)油的渦輪分子泵、復(fù)合分子泵在該領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。但是，前級(jí)泵還沒(méi)有真正解決真空系統(tǒng)無(wú)油污染的技術(shù)難題。1984年以前研制過(guò)一些實(shí)驗(yàn)室和專門用途的干式泵。但價(jià)格昂貴、運(yùn)行間隙過(guò)小，很難在商業(yè)上推廣應(yīng)用。國(guó)外首先研制了工業(yè)上實(shí)用的干式真空泵，將羅茨泵進(jìn)行六級(jí)串聯(lián)。之后又出現(xiàn)羅茨和爪型轉(zhuǎn)子組合起來(lái)的無(wú)油泵?？傊?，相繼出現(xiàn)了多種型式的干式泵，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。
干式真空泵也稱為無(wú)油真空泵。在泵的抽氣流道中，不能使用任何油類和液體。排氣口與大氣相通，能連續(xù)向大氣中排氣。能產(chǎn)生10.2Pa壓力范圍的真空。
干式真空泵是未來(lái)行業(yè)發(fā)展的趨勢(shì)，雖然現(xiàn)在用的還不多，除了價(jià)格高原因外，還有用戶對(duì)干式真空泵的了解不到位，看不到帶給企業(yè)的未來(lái)經(jīng)濟(jì)效益，小編在這里著重講下干式真空泵怎么進(jìn)行優(yōu)化選擇?
對(duì)于這些不同類型的干式真空泵，我們都渴望能夠?qū)⑵湮锢沓叽鐪p小。但這與真空泵的抽氣速率相矛盾，因?yàn)檎婵毡玫某闅馑俾逝c真空泵的容積成正比，物理尺寸小意味著容積也小。當(dāng)然，還有一個(gè)影響真空泵的抽氣速率的重要因素，那就是轉(zhuǎn)速。為了讓小尺寸的真空泵的抽氣速率與大尺寸真空泵的抽氣速率相匹配，就需要提高它的轉(zhuǎn)速。而想要改變真空泵的轉(zhuǎn)速有兩種方法，一是改變電源的頻率，即采用變頻器;二是改變齒輪箱的傳動(dòng)比。其中，采用變頻器的好處是可以提供一個(gè)閉環(huán)控制，但在大負(fù)載下容易引起扭距的損失。而改變齒輪箱的傳動(dòng)比是一種非常經(jīng)濟(jì)的方法，當(dāng)然，它只能提供不可控的單一轉(zhuǎn)速。
現(xiàn)在，可以看到干式真空泵有著如此多的不同設(shè)計(jì)，它們各自有著自己的特性和優(yōu)缺點(diǎn)。一直以來(lái)，使用成本是一個(gè)影響人們選擇真空泵的重要因素。越來(lái)越多的真空泵用戶意識(shí)到也應(yīng)該將真空泵運(yùn)行的穩(wěn)定性考慮進(jìn)去。因?yàn)檎婵毡玫囊馔獬鲥e(cuò)會(huì)引起機(jī)器的使用效率降低，影響到晶圓的生產(chǎn)和交貨期，甚至造成所加工晶圓的報(bào)廢和機(jī)器其它部件的損壞。由于螺桿式設(shè)計(jì)為單級(jí)設(shè)計(jì)，同多級(jí)泵如圓裂片式，爪式以及組合式相比，其在零件的使用數(shù)量上減少了60%。這使得其在穩(wěn)定性和將來(lái)的維修成本上有很大的優(yōu)勢(shì)。
綜合考慮，如果用戶認(rèn)為耗電量對(duì)他來(lái)說(shuō)最為重要而氮?dú)庥昧繉?duì)他來(lái)說(shuō)最不重要，那么選擇內(nèi)部壓縮型螺桿式可以是一個(gè)好的選擇。但普遍說(shuō)來(lái)，對(duì)尾氣處理越來(lái)越嚴(yán)格的要求使得將來(lái)對(duì)減少氮?dú)獾挠昧孔兊酶匾?。如果你希望用單一類型的泵不?jīng)過(guò)改變來(lái)處理各種不同的半導(dǎo)體工藝，而使得你的庫(kù)存控制簡(jiǎn)單化，那么外部壓縮型螺桿式是你最好的選擇。
根據(jù)具體情形，綜合以上所有設(shè)計(jì)類型的優(yōu)點(diǎn)一定是最理想的選擇，但目前還不太可能。因此，這就要求使用者首先要知道在干式泵的設(shè)計(jì)上有著如此多的不同設(shè)計(jì)類型，進(jìn)而根據(jù)自身工藝特點(diǎn)了解各種不同類型泵的設(shè)計(jì)對(duì)其影響。這樣做出的選擇才能夠盡可能降低其使用成本，而獲得一個(gè)壽命較長(zhǎng)的穩(wěn)定的真空系統(tǒng)
