停泵時(shí)，泵出口的空氣壓力會(huì)使泵反轉(zhuǎn)，將泵油返到真空室中。因此，需要特殊的閥門(mén)，設(shè)置在泵的入口處，在泵停止工作的，將泵和真空室隔開(kāi)。這種保護(hù)閥通常是電磁放氣閥。當(dāng)電機(jī)斷電時(shí)，電磁閥靠大氣與泵入口的壓差關(guān)閉泵與真空室之間的通道，同時(shí)向泵入口放大氣。泵啟動(dòng)時(shí)，電磁閥閥板放開(kāi)，使泵入口與真空室連通，對(duì)真空室抽空。在有些旋片真空泵中，泵入口內(nèi)設(shè)置有空氣隔離閥，起到上述電磁放氣閥的作用。這時(shí)，泵入口管路上無(wú)需再設(shè)置放氣閥了。旋片真空泵在工作時(shí)，油蒸氣會(huì)逆著氣流方向進(jìn)入泵入口管道，通過(guò)管路更終進(jìn)入被抽容器。油蒸氣的返油量隨壓力的降低而增加，在泵極限壓力附近達(dá)到更大，返流油蒸氣主要是泵油中的輕餾分。

1、在泵入口管路上設(shè)置放氣閥，使泵入口壓力維持在10Pa或更高，這樣才可以減少返流98%。
2、對(duì)于單級(jí)旋片真空泵，在泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)打開(kāi)氣鎮(zhèn)閥能很好的防止泵的返流。
3、在泵入口設(shè)置吸附阱，依靠依附劑吸附返流油蒸氣。顆?；钚匝趸X可以吸附99%的返流油蒸氣。這種吸附阱需要定期更換吸附劑，以防吸附材料吸氣能力達(dá)到飽和而失效。
4、使用特殊泵油。特殊泵油的返流量很少，但價(jià)格較貴，因此難以廣泛使用。
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